ESC 정전척은 반도체 제조 분야의 핵심 웨이퍼 클램핑 장치로, 정전기 흡착을 기본 원리로 한다. 고전압을 인가해 정전기장을 형성하고, 쿨롱력 또는 존슨-라베크 힘을 통해 웨이퍼의 비접촉식 고정을 구현하며, 플라즈마 식각, 이온 주입, 박막 증착 등 진공 공정에서 빼놓을 수 없는 핵심 부품으로 활용된다. 본 제품은 비자성 환경 및 10⁻⁵ Pa 이하 초고...

ESC 정전척은 기존 기계식 클램핑 및 진공 흡착 방식을 대체하는 새로운 형태의 정밀 클램핑 기술로, 독특한 기술적 우위를 바탕으로 반도체, 패널 디스플레이, 태양광 발전, 정밀 광학 분야 등 고급 제조 산업 전반에 대규모로 적용되고 있으며, 현대 초청정 박판 가공 분야의 핵심 기술 담체로 자리 잡고 있다. 기존 클램핑 방식과 비교했을 때, ESC 정전척...

ESC 정전척의 핵심은 정전 유도 및 전기장력 원리를 활용하여 웨이퍼, 유리 기판 등 박형 작업물의 비접촉식 정밀 고정을 구현하는 것이다. 본질적으로 제어 가능한 정전용량형 흡착 시스템으로, 진공, 플라즈마 환경 등 가혹한 반도체 작업 조건에 적합하며, 서로 다른 흡착 메커니즘을 통해 다양한 공정 요구 사항에 대응할 수 있다. ESC 정전척은 샌드위치 구...