ESC 정전기 차크의 핵심 제품 소개

2026-01-23

ESC 정전척은 반도체 제조 분야의 핵심 웨이퍼 클램핑 장치로, 정전기 흡착을 기본 원리로 한다. 고전압을 인가해 정전기장을 형성하고, 쿨롱력 또는 존슨-라베크 힘을 통해 웨이퍼의 비접촉식 고정을 구현하며, 플라즈마 식각, 이온 주입, 박막 증착 등 진공 공정에서 빼놓을 수 없는 핵심 부품으로 활용된다. 본 제품은 비자성 환경 및 10⁻⁵ Pa 이하 초고진공 등 가혹한 공정 환경에 적응하며, 웨이퍼, 사파이어, 유리 등 다양한 유전체 소재를 안정적으로 흡착할 수 있다. 바이폴라형, 멀티폴라형, 인터디지테이티드형 전극의 맞춤형 설계를 지원하며, 흡착면의 전체 평탄도 정밀도는 1μm 이내에 달하고 평행도는 5μm 이상의 성능을 보인다. 표준 흡착 전압 조건에서 흡착력은 ≥10N이며, 잔류 흡착력은 24시간 동안 60% 이상 유지되어 장시간 안정적인 클램핑 효과를 지속할 수 있다. 구조 및 성능 측면에서 ESC 정전척은 질화알루미늄, 질화규소 등 고열전도성 세라믹 필름이 코팅되어 있어, 우수한 플라즈마 내식성과 기계적 강도를 동시에 갖추고 있다. 고급형 제품의 경우 멀티존 온도 제어 전극과 배면 헬륨 냉각 시스템을 통합하여 웨이퍼 온도를 정밀하고 균일하게 조절하며, 열응력으로 인한 웨이퍼 휨 또는 박막 증착 불균일 문제를 방지한다. 동시에 흡착력이 균일하게 분포되어 국부 응력점이 없어, 초박형 웨이퍼, 정밀 광학 부품 등 취약 소재의 표면 무결성을 효과적으로 보호하고, 기계식 클램핑으로 인한 스크래치 및 변형 문제를 근본적으로 해소한다. 현재 ESC 정전척은 초대규모 집적 회로 제조 장비의 핵심 부품으로 자리 잡고 있으며, 웨이퍼 계측, 전자빔 리소그래피, 반도체 칩 패키징 등 공정 분야에서 널리 적용되고 있다. 또한 전극 수, 평탄도 사양, 전체 치수 등 파라미터는 공정 요구에 따라 맞춤 설계가 가능해 8인치, 12인치 등 다양한 규격 웨이퍼의 가공 환경에 유연하게 대응할 수 있다....

ESC 정전척 기술적 우위 및 산업적 적용 분석

2026-01-23

ESC 정전척은 기존 기계식 클램핑 및 진공 흡착 방식을 대체하는 새로운 형태의 정밀 클램핑 기술로, 독특한 기술적 우위를 바탕으로 반도체, 패널 디스플레이, 태양광 발전, 정밀 광학 분야 등 고급 제조 산업 전반에 대규모로 적용되고 있으며, 현대 초청정 박판 가공 분야의 핵심 기술 담체로 자리 잡고 있다. 기존 클램핑 방식과 비교했을 때, ESC 정전척의 핵심 기술적 우위는 크게 네 가지 측면에서 나타난다. 첫째, 비접촉·무응력 클램핑이다. 정전기력을 통해 고정을 구현하며 물리적 접촉이 전혀 없어, 기계식 고정구로 인한 웨이퍼 손상 및 에지 익스클루전 효과를 완벽히 방지할 수 있다. 두께 50μm 미만의 초박형 웨이퍼와 질화갈륨(GaN), 탄화규소(SiC) 등 취성 반도체 소재 가공에 최적화되어 있다. 둘째, 전 환경 적응성이다. 상압, 초고진공, 플라즈마 등 다양한 작업 환경에서 안정적으로 운전할 수 있으며, 도체, 반도체, 절연체, 다공성 소재까지 흡착 가능해 적용 범위가 매우 넓다. 셋째, 저소비·고청정성이다. 정전 흡착 방식의 에너지 소비량은 진공 흡착 장비보다 훨씬 낮다. 또한 흡착 과정에서 작업물 배면에 전위가 발생하지 않아 주변 먼지와 입자를 흡착하지 않으며, 반도체 공정의 초청정 요구 사항을 충족한다. 넷째, 제어 용이성 및 간편한 운전이다. 안정적이고 정밀하게 조절 가능한 클램핑력을 통해 신속한 흡착과 해제를 구현할 수 있다. 맞춤형 제어기와 연동 시 언클램핑 시간을 최소화하고 전체 공정 운전 효율을 높일 수 있다. 산업적 적용 측면에서 ESC 정전척은 반도체 전공정 제조의 핵심 부품이다. 식각, 이온 주입, CVD/PVD 박막 증착 등 공정에서 극한 환경에서의 웨이퍼 위치 고정과 온도 균일성을 보장하며, 칩 제조의 정밀도와 수율에 직접적인 영향을 미친다. 패널 산업에서는 진공 라미네이션 공정에서 유리 기판의 평면 클램핑에 사용되어 라미네이션 과정에서 발생하는 주름과 기포를 방지한다. 태양광 발전 및 정밀 광학 분야에서는 실리콘 웨이퍼, 광학 렌즈 등 박형 작업물의 소프트 지지와 고정밀 가공을 실현한다. 동시에 ESC 정전척은 진공 열압착기 등 장비와 연계 운전할 수 있다. 첨단 반도체 패키징, 칩렛(Chiplet) 집적 등 신흥 공정에서 비접촉 고정, 진공, 정밀 온도 제어, 균일 압력 등 다물리장의 상호 작용을 통해 산화, 기포, 응력 손상 등 기존 공정의 병목 현상을 해결한다. 반도체 공정이 점차 소형화·고집적화 방향으로 발전함에 따라 ESC 정전척은 고정밀화, 고열전도화, 모듈화 맞춤 설계 방향으로 업그레이드되고 있다....

ESC 정전척 작동 원리

2026-01-23

ESC 정전척의 핵심은 정전 유도 및 전기장력 원리를 활용하여 웨이퍼, 유리 기판 등 박형 작업물의 비접촉식 정밀 고정을 구현하는 것이다. 본질적으로 제어 가능한 정전용량형 흡착 시스템으로, 진공, 플라즈마 환경 등 가혹한 반도체 작업 조건에 적합하며, 서로 다른 흡착 메커니즘을 통해 다양한 공정 요구 사항에 대응할 수 있다. ESC 정전척은 샌드위치 구조를 특징으로 한다. 하부층은 지지 및 회로 집적 기능을 하는 베이스 플레이트이며, 중간층은 단극·양극·다극 형태의 금속 전극으로 구성되고, 표면층은 질화알루미늄, 산화알루미늄 등 소재로 제작된 절연·열전도성 유전체층으로 코팅된다. 작동 시 작업물은 커패시터의 상부 전극판 역할을 하고, 내장 전극은 하부 전극판 역할을 하며, 유전체층은 절연 매질로 기능하여 전기장 생성의 기반이 되는 완전한 정전용량 구조를 형성한다. 실제 적용 과정에서 흡착력은 주로 세 가지 메커니즘에서 유래하며, 각 메커니즘은 서로 다른 시나리오의 요구에 부합한다. 첫째는 쿨롱력 흡착으로, 이상적인 절연성 유전체층에 적용된다. 고전압 직류 전압을 인가하면 전극에서 전기장이 발생하여 작업물 배면에 반대 전하를 유도하고, 반대 전하 간에 생성되는 쿨롱력으로 흡착을 구현한다. 이 메커니즘은 흡착력이 균일하고 작업물 변형을 방지할 수 있어 높은 평탄도가 요구되는 공정에 적합하다. 쿨롱력의 크기는 유전율, 인가 전압, 흡착 면적과 정비례 관계를 가지며, 유전체층 두께와는 반비례 관계를 가진다. 둘째는 존슨-라베크(J-R)력 흡착으로, 산업계의 주류 적용 메커니즘이다. 도핑된 반도체 유전체층(미약한 누설 전류 존재)에 적합하며, 접촉면의 미세 틈에 전하가 축적되어 미소 전기장을 형성하고, 그 합력이 존슨-라베크력이다. 이 메커니즘은 인가 전압이 낮고(500~800V), 더 강한 흡착력을 생성할 수 있어 헬륨 냉각 압력을 극복할 수 있으며, 접촉면의 미세 거칠기에도 대응 가능하다. 셋째는 기울기력 흡착으로, 교호 다전극 배열 설계에서 주로 볼 수 있다. 양·음 전극이 불균일한 전기장을 형성하고, 작업물 양측의 응력 차이로 단방향 합력이 발생한다. 전극 간격과 유전체층 두께를 최적화하여 흡착력을 강화할 수 있어 특수 형상의 작업물 가공에 적합하다. 반도체 식각 공정을 예로 들면, 전체 작동 과정은 작업물 고정과 온도 제어를 동시에 구현하는 세 단계로 나뉜다. 단계 1: 작업물 위치 설정 – 웨이퍼를 척의 유전체층 표면으로 이송하고, 정합 위치로 조정한다. 단계 2: 정전 흡착 – 제어기가 전극에 설정된 전압을 인가한다(단극 방식은 작업물 충전...

ESC 정전척 흡착력에 영향을 미치는 요인은 무엇인가?

2026-01-23

ESC 정전척 흡착력에 영향을 미치는 핵심 요인은 소재 특성, 구조 파라미터, 운전 파라미터, 작업 환경의 네 가지 유형으로 분류할 수 있다. 이들 요인은 서로 연관되어 있으며 흡착의 안정성, 균일성, 적응성을 직접적으로 결정하며, 구체적인 분석은 다음과 같다. 1. 소재 특성 소재는 흡착력의 근본적인 보장 요소로, 그 핵심 영향은 전하 전도 및 전기장 형성 효과에 있다. 유전체층 소재 및 성능 유전체층의 유전율과 체적 저항률은 흡착 메커니즘과 흡착력 크기를 직접적으로 결정한다. 유전율이 높을수록 전기장이 강해져 흡착력(특히 쿨롱력)이 더 크게 나타나며, 질화알루미늄 세라믹은 산화알루미늄보다 유전율이 높아 흡착 성능이 우수하다. 체적 저항률은 흡착 메커니즘과 정밀하게 매칭되어야 하는데, J-R력 척의 경우 10⁹~10¹²Ω·cm 범위 내에서 제어해야 한다. 저항률이 지나치게 높으면 척이 쿨롱력 특성을 나타내기 쉬워 흡착력이 약하고 전압 요구 사항이 높아지며, 저항률이 지나치게 낮으면 누설 전류가 과다해져 흡착력이 감쇠하게 된다. 또한 유전체층의 순도와 치밀도는 전하 축적 능력에 영향을 미치며, 불순물이나 기공이 존재하면 전기장이 왜곡되어 국부 흡착력이 저하된다. 유전체층 두께 흡착력은 유전체층 두께와 반비례 관계에 있다(쿨롱력 공식에서 흡착력 ∝1/d²). 층이 얇을수록 전기장 강도가 집중되어 흡착력이 강해지지만, 지나치게 얇으면 절연 성능이 저하되고 절연 파괴 위험이 증가한다. 따라서 전압 파라미터와 결합하여 균형을 맞춰야 하며, 산업계의 일반적인 두께는 0.1~0.5mm 범위이다. 작업물 소재 특성 작업물의 전기 전도성과 유전 특성은 전하 유도 효율에 영향을 미친다. 도체·반도체 작업물은 전하를 신속하게 유도하여 안정적인 흡착력을 보장할 수 있으며, 절연체 작업물은 전하 유도 속도가 느려 다극 전극 등 특정 전극 설계와 매칭하여 흡착력을 강화해야 한다. 다공성이거나 표면이 거친 작업물은 유효 접촉 면적을 줄여 국부 흡착력을 약화시키므로, 표면 미세 구조 최적화를 통해 이를 보상해야 한다. 2. 구조 설계 요인 구조 파라미터는 전기장 분포와 힘 전달 효율을 결정하며, 그 핵심은 전극과 전체 정밀도에 있다. 전극 설계 전극 종류(단극·양극·다극)는 전기장 커버리지에 영향을 미친다. 단극 전극은 전기장이 집중되어 흡착력이 강하지만(동일 전압 조건에서 양극 전극보다 우수), 균일성이 떨어진다. 양극·다극 전극은 전기장 분포를 더 균일하게 만들 수 있지만, 흡착력을 보상하기 위해 전극 간격을 축소해...

ESC 정전척의 안정성 및 안전성 향상 방법

2026-01-23

ESC 정전척의 안정성 및 안전성 향상 방안 한국어 번역 ESC 정전척의 안정성과 안전성을 높이려면 운전 제어, 일상 유지보수, 구조 최적화, 환경 적응의 네 가지 차원에서 전 과정 보증 시스템을 구축해야 한다. 이 시스템은 흡착 성능의 지속적인 안정성, 운전·작업물·장비의 안전 보호를 보장하며, 전하 축적, 소재 마모 등 잠재적 위험을 방지할 수 있다. 1. 운전 파라미터 정밀 제어로 안정성 핵심 다지기 운전 파라미터의 합리적인 조절은 흡착 안정성을 유지하고 잠재적 안전 위험을 방지하는 기본 요소로, 흡착 메커니즘과 공정 시나리오를 결합해 정확하게 설정해야 한다. 전압 파라미터 정밀 매칭 척 종류(쿨롱력형/J-R력형)에 따라 정격 전압을 설정하고 과전압 운전을 엄격히 금지한다. 쿨롱력형은 3000~4000V 범위 내에서 제어하고, J-R력형은 500~800V로 제한하여 유전체층 절연 파괴 및 과도한 전하 축적을 방지한다. 전압 모니터링 모듈을 장착해 전압 변동을 실시간으로 피드백하고(허용 오차 ±5%), 변동이 한계를 초과하면 자동으로 전원을 차단해 흡착력 급변 또는 절연 고장을 예방한다. 온도 제어 및 압력 균형 유지 헬륨 냉각 시스템이 통합된 척의 경우, 배면 헬륨 압력을 정밀하게 조절해 흡착력 임계값보다 낮게 유지한다(보통 20%의 안전 마진을 확보). 가스 압력이 흡착력을 상쇄해 작업물이 위치 이동하는 현상을 방지한다. 멀티존 온도 제어 모듈을 통해 척의 온도 균일성을 유지하고, 작업 온도를 유전체층 허용 범위 내로 제어한다(일반적으로 -20℃~150℃). 이를 통해 고온으로 인한 유전체층 저항률 저하 및 누설 전류 증가, 또는 저온으로 인한 전하 이동 속도 저하 현상을 방지한다. 흡착·해제 절차 표준화 흡착 시 구배 승압 방식을 채택해 전압 급상승으로 인한 전기장 충격을 피하고, 해제 시 먼저 역방향 제전 전압(진폭은 작업 전압의 50~80%, 지속 시간 1~3s)을 인가해 잔류 전하를 완전히 제거한다. 이를 통해 작업물 부착 및 정전 절연 파괴 위험을 해소한다. 단극 척의 경우 플라즈마 밀도를 동시에 모니터링해 작업물의 효과적인 충전을 보장하고, 흡착 불안정 문제를 방지한다. 2. 일상 유지보수 강화로 수명 연장 및 위험 방지 정기적인 유지보수는 소재 마모를 줄이고 잠재적 위험을 조기에 발견·해결하며, 장기 안정 운전을 보장하는 핵심 요소이다. 유전체층 정기 점검 및 세척 주 1회 유전체층 표면 상태를 점검하고, 광학 현미경을 통해 스크래치, 마모, 플라즈마 부식 흔적을 확인한다. 손상이나 코팅 박리가 발생한 경우 즉시 유전...

VAT 진공 밸브의 제품 특징 및 핵심 분류

2026-01-23

VAT 진공 밸브는 진공 시스템에서 영역 격리 및 기류 제어를 담당하는 핵심 부품으로, 고진공, 초고진공, 극한 진공 환경을 포함한 다양한 진공 작업 조건에 특별히 설계되었다. 정교한 설계와 안정적인 성능을 바탕으로 정밀 제조, 과학 연구 실험 등 분야의 진공 시스템 핵심 부품으로 자리 잡고 있다. 스위스에서 시작된 전문 진공 밸브 브랜드인 VAT는 부품의 신뢰성과 작업 조건 적응성에 항상 집중하며, 엄격한 공정 요구를 충족하는 제품 시스템을 구축해 왔다. VAT 진공 밸브의 핵심 특징은 여러 측면에서 나타난다. 밸브 본체는 대부분 스테인리스 스틸, 알루미늄 합금 등 내식성 소재로 제작되며, 일부 모델은 특수 코팅 처리가 되어 부식성·독성 공정 가스의 침식을 견딜 수 있고 다양한 온도 작업 조건에 적응할 수 있다. 특정 제품은 400℃ 이상의 고온을 견딜 수 있어 진공로, 박막 증착 등 특수 시나리오의 요구를 충족한다. 밀봉 성능은 VAT 진공 밸브의 핵심 장점 중 하나인데, 금속 밀봉 또는 엘라스토머 밀봉 기술을 통해 최적화되어 누설률이 최저 10⁻¹² mbar·L/s까지 도달하며, 초고진공 환경의 기밀성을 안정적으로 유지할 수 있다. 수동, 공압, 전기 등 다양한 구동 방식을 제공하며, 공압 및 전기 구동 모델은 빠른 응답성을 보여 밀리초 단위로 완전 개폐 동작을 수행하여 시스템 고장 시 비상 격리에 대한 보호 기능을 제공한다. 또한 모든 제품은 청정실 환경에서 제조되며, 구조 최적화를 통해 마찰로 인한 입자 배출량을 줄여 진공 환경 오염을 방지한다. 기능 및 구조적 차이를 기반으로 VAT 진공 밸브는 다양한 응용 시나리오에 대응하기 위해 풍부한 제품 분류를 형성하고 있다. 진공 게이트 밸브는 슬라이딩 게이트 메커니즘을 채택한 널리 사용되는 격리 부품으로, 개방 시 단면이 완전히 막히지 않고 유동 저항이 낮으며 설치 깊이가 작은 특징이 있다. 일부 모델은 1×10⁻¹⁰ mbar의 초고진공 환경에 적합하여 안정적인 격리가 요구되는 공정 라인에 이상적이다. 진공 버터플라이 밸브는 제어와 격리 기능을 겸비하며, 회전하는 게이트 플레이트로 기류를 조절한다. 설치 공간이 콤팩트하고 기류 조절이 원활하며 넓은 범위의 진공 압력에 적응 가능하다. 진공 앵글 밸브는 모듈식 구조의 범용 제품으로, 유지보수가 간편하고 밀봉 성능이 안정적이어서 대부분의 일반 진공 시스템 요구를 충족할 수 있다. 전금속 진공 밸브는 극한 작업 조건을 위해 특별히 설계된 제품으로, 금속 대 금속 밀봉 방식을 채택하여 극한 압력, 온도, 방사선의 영향을 견딜 수 있으며 핵융합 장치, 우주 시뮬...

VAT 진공 벨브의 기술적 이점과 산업 응용 시나리오

2026-01-23

차별화된 기술 설계와 완전한 시나리오 적응성으로 VAT 진공 VAVALVE는 다양한 산업에서 진공 시스템에서 중요한 역할을 합니다.기술적 이점은 기본 성능뿐만 아니라 다른 프로세스의 고통점을 위해 개발된 맞춤형 솔루션에도 반영되며 시스템 안정성과 긴 서비스 수명을 보장합니다.기술적 설계의 측면에서 VAT 진공 기기술은 여러 특허 받은 기술을 통해 포괄적인 성능을 향상시킵니다.모션 커브 제어 기술은 모모모션 커브 제어 기술이 모모션 커브 제어 기술은 모모모션 모션모션 커브 제어 기술은 모모션모션 커브 제어 기술을 사용하여 모션모션모션 커브 제어 기술은 모션모션모션 커실링 구조는 대상 방식으로 최적화되며 실링 방법은 재료 특성 및 공정 요구 사항에 따라 선택되며, 닫을 때 공기 밀도를 보장할 뿐만 아니라 실링 부품의 마모를 줄이고 부품의 서비스 수명을 연장합니다.지능형 제어 모듈의 통합은 기술적 인 하이라이트 중 하나입니다. 센서와 PLC 제어 시스템의 연결을 통해 센센서의 운영 상태를 실시간으로 모니터링하고 원격 제어 및 자동화 통합을 지원하고 현대 생산 라인의 운영 요구에 적응할 수 있습니다.일부 모델은 또한 사용자 정의 기능을 갖추고 있으며, 일일일부 모델은 일일일부 모델은 일일일일부 모델은 일일일일부 모델은 일일일일부 모델은 일일일일부 모델은 일일일부 모델에서도 사용자 정의를한편 모든 제품은 엄격한 성능 테스트를 통해 장기적이고 고주파수 작동 중 안정적인 성능을 유지하고 오류 종료 확률을 줄입니다.산업 적응 측면에서, VAT 진공 산산산업은 여러 분야의 핵심 프로세스에 깊이 통합되었습니다.반도체 제조 산업에서 에치, 이온 이식 및 PVD/CVD와 같은 공정은 진공 환경의 순수성과 안정성에 대한 엄격한 요구 사항을 가지고 있습니다.VAT VAT VAT 벨브는 오염 가스의 확산을 방지하기 위해 반응 방을 빠르게 분리할 수 있으며, 입자 배출을 줄이면서 웨이퍼 처리 품질에 영향을 미치지 않도록 합니다.태양전지 산업에서 태양전지의 코팅 과정은 안정적인 진공 환경에 의존합니다.벨브는 압력 변동에 적시에 반응하고 공정 일관성을 유지하고 대형 기판의 생산 요구에 적응할 수 있습니다.과학 연구 분야에서 초고진공 환경의 유지보수를 필요로 하는 동기전자 방사선 광원 및 입자 가속기 같은 장비의 경우 VAT VALV은 외부 가스의 방해를 효과적으로 차단하고 실험 정확성을 보장할 수 있습니다.의료 및 제약 산업에서 진공 살진진과 냉동 건조 장비는 의의박테리아 침입을 방지하고 제품의 무세 안전성을 보장하기 위해 의의의료의료 및 제약 산업에서 의료의료의학 및 제약 산업에서 의류 의학 및 제약 산업에서 의류또한 진공 건조, 결정 성장, 배터리 ...

DuPont Kalrez O-rings의 응용 시나리오는 무엇입니까?

2026-01-23

DuPont Kalrez O-rings는 화학 내식성, 광범위한 온도 범위 적응성 및 낮은 오염 특성으로 인해 다양한 산업에서 거친 작업 조건에 적합합니다.그들은 특히 장기적으로 안정적인 장장장기적 인 밀봉 및 오염 및 누출 위험을 피하는 주요 프로세스에서 중요한 역할을 합니다.특정 응용 시나리오는 다음과 같습니다. 1. 반도체 제조반도체 프로세스의 핵심 밀반반 구성 요소로서 칼레즈 O-링은 다양한 플라즈마 프로세스와 진공 환경에 적응할 수 있으며, 전체 칩 제조 프로세스의 모든 핵심 링크를 포함합니다.고밀도 플라즈마 화학 증기 沉积 (HDPCVD), 플라즈마 강화 화학 증기 沉积 (PECVD) 및 원자 층 沉积 (ALD)과 같은 시나리오에서 TMS, TEOS, NF를 포함한 공정 가스를 저항할 수 있습니다.₃ and O₂ 뿐만 아니라 고온 환경 (250℃에서 310℃).Kalrez® 9600과 같은 특정 등급은 낮은 침식과 낮은 체중 손실을 특징으로 하며, 고순도 진공 응용 프로그램의 요구 사항을 충족시키고, 입자 생성과 가스를 줄이고, 웨이퍼 처리 품질을 보장합니다.도체 에치 (150℃에서 225℃까지, CF와 같은 매체와 접촉하는 경우)₄ 및 HBr), 절연 에치징 (CF와 같은 매체와 접촉하여 100℃에서 180℃)₄ 그리고 SF₆),또는 회/제거 과정 (180℃에서 250℃, O 같은 매체와 접촉)₂ 그리고 NH₃)—Kalrez® 9100 및 9300과 같은 해당 등급은 플라즈마 침식에 저항하고, 밀봉 수명을 연장하고 장비 유지 보수 주파수를 줄일 수 있습니다.또한, 그들은 공정 또또한, 게이트 또또또한 가스 파이프라인, 가스 파이프라인, 석영 창문 및 기타 구성 요소의 실링에 적용 가능합니다.반도체 응용 프로그램을 위한 모든 칼레즈 제품은 엄격한 청결성 표준을 준수하는 독점적인 초청결 처리 및 클린룸 처리를 받습니다. 2. 석유와 가스칼레스 오링은 석유 및 가스 탐사, 운송 및 가공의 복잡한 작업 조건에 적합하며 특히 고온, 고압, 부식 매체 및 압력 변동의 도전을 해결할 수 있습니다.드릴링 및 완료 도구와 같은 다운홀 장비의 경우 Kalrez® 0090과 같은 등급은 엄격한 빠른 가스 분압 (RGD) 테스트를 통과하고 NORSOK M-710 및 ISO 23936-2를 포함한 표준을 준수합니다.그들은 내부 크래킹, 블리스터 또는 기타 결함없이 내내부 황화수소 함유 산성 매체, 고온 (최대 250 ℃) 및 극단적인 압력 변화를 견고할 수 있으며 다운홀 장비의 장기 작동을 보장합니다.표면 장비의 경우 표면 장비는 표표면 장비, 표표표면 장비는 표표면 펌프, 표표면 장비, 표표표면 장비, 표표표면 장비, 표면 표...

Kalrez O 반지의 화학 내식성은 무엇입니까?

2026-01-23

광범위한 화학 저항성Kalrez O-반지는 강한 산 (예: 집중된 질소산), 강한 알칼리 (예: 수산화 나트강 강), 유기 용매 (예: 토루엔, 아세톤, 디클로로로메탄), 에테르, 케톤, 에스테르, 벤강 강한 산화제, 아민 화합물, 연료, 기름 및 기름 등을 포함한 1,800 종류 이상의 화학 물질에 저항할 수 있습니다.그것의 perfluoro 메인 체인 구조는 활성 반응 장소가 없으며, 기본적으로 부식 실패의 가능성을 제거합니다. 화학 내식성 검증부비교 테스트: 칼레즈와 플루오로비비비가 아세톤과 비비비비교 테스트: 칼레즈와 플루오로로로비가 아세비비비톤과 비비비비비교 테스트: 칼레즈와 플루오로로로로비가 아세톤과 비교 비교 테스트: 칼레 화학 내식성의 이점일반 고무보다 훨씬 우수한 내식성: 칼레스는 극단적인 화학 환경에서도 일일일반 고무는 분자 사슬 파괴 또는 교차 연결된 구조 손상으로 인해 볼륨 확장과 밀봉 실패로 고통받을 수 있습니다.다른 perfluoroelastomers보다 더 나은 내식성: Kalrez는 압축 후 우수한 회복 성능을 가지고 있으며 장기 압력 하에서 모양을 더 잘 유지할 수 있으므로 긴 기간 동안 단단한 밀봉을 보장합니다. 화학 내식성 성능의 응용반도체 산업: 에처 및 CVD 장비의 내식성 반밀공정 오염 (낮은 입자 생성 및 낮은 추출 가능성) 감소 및 거친 플라즈마 환경에서 분해에 저항하는 방식으로 사용됩니다.석유 및 가스 산업: 석석탄화수소 및 이산화탄소와 같은 부식 매체에 저항하는 깊은 석석유 석석석유 및 가스 산업: 깊은 석석석유 석석유석유 및 가스 산업: 깊은 석유 석 및 가화학 산업: 화학 누출과 부식을 방지하기 위해 원자기, 파이프라인, 화화화화학 화화화화학 산업, 화학화학 산업, 파이프라인, 화화학 화학 산업 및 기타 장의료 및 식품 산업: FDA 인증 등급 (예: Kalrez 6230)은 제품 안전성과 순수성을 보장하기 위해 제약 및 식품 가공 장비에서 밀제제제제에 사용됩니다. ...

슬릿 밸브 도어 - 구조 원리 및 핵심 특징

2026-01-23

슬릿 밸브 도어는 진공 시스템에서 캐비티 격리 및 개폐 제어를 담당하는 특수 부품이다. 이송 캐비티와 공정 캐비티 사이의 직사각형 이송 슬릿 개구부에 맞춰 설계되었다고 하여 이름이 붙은 것으로, 게이트 구동형 격리 밸브의 범주에 속한다. 콤팩트한 구조와 신뢰성 높은 밀봉 성능을 바탕으로 고급 제조 및 과학 연구 분야 진공 시스템의 핵심 부품으로 자리 잡고 있다. 슬릿 밸브 도어의 핵심 설계는 진공 환경의 밀봉 및 격리 요구사항을 중심으로 개발되었으며, 개폐 응답성과 청정도 제어를 동시에 고려하여 다양한 가혹한 작업 조건에 적합하다. 작동 원리 측면에서 슬릿 밸브 도어는 게이트 플레이트의 직선 운동을 통해 유로의 개폐를 구현하며, 캐비티 간에 격리 장벽을 형성한다. 폐쇄 상태에서는 게이트 플레이트가 밸브 시트에 밀착되고, 구조적 압력과 밀봉 부품의 특성으로 가스 유동을 차단하여 캐비티 내부의 진공 상태를 유지한다. 개방 상태에서는 게이트 플레이트가 밸브 캐비티 상단까지 수직 승강하며 유로를 완전히 개방하여, 웨이퍼, 기판 등 작업물의 이송 또는 가스 순환을 위한 통로를 제공한다. 공압, 전기 등 다양한 구동 방식을 지원하며 시스템의 자동화 요구사항에 따라 선택할 수 있으며, 일부 모델은 고속 개폐 동작을 구현하여 고주파 작업 조건의 운전 리듬에 대응할 수 있다. 슬릿 밸브 도어의 구조 설계는 뚜렷한 목적성을 갖는다. 밸브 본체는 대부분 스테인리스 스틸 등 내식성 소재로 제작되어 공정 매질과 환경의 침식을 견딜 수 있으며 수명을 연장한다. 밀봉 구조는 최적화되어 특수 밀봉 부품과 매칭되어 저누설 성능을 구현하며, 고진공 및 초고진공 환경의 기밀성 요구사항을 충족할 수 있다. 청정도 요구사항을 만족시키기 위해 제품은 저입자 발생 설계를 채택하여 게이트 플레이트의 운동 및 마찰로 발생하는 불순물을 줄이고, 진공 환경 오염을 방지한다. 동시에 전체 구조가 콤팩트하여 설치 깊이가 슬릿 개구부의 공간 제약에 적합하며, 이송 캐비티와 공정 캐비티의 인터페이스 위치에 무간섭으로 통합될 수 있어 설치 편의성과 시스템 호환성을 동시에 고려한다. 핵심 특징은 작업 조건 적응성에서도 나타난다. 일부 모델은 고온 진공 베이킹 작업 조건을 지원하며 일정 범위의 온도 변화를 견딜 수 있고 밀봉 성능에 영향을 미치지 않으며, 전금속 밀봉 모델은 더욱 가혹한 사용 환경에 적응하여 고압 및 온도 변동으로 인한 도전 과제에 대처할 수 있다. 또한 밸브는 운전 중 높은 안정성을 보이며 반복적인 개폐 후에도 밀봉 효과와 원활한 운동성을 유지하여 유지보수 빈도를 줄인다....