슬릿 밸브 도어는 진공 시스템에서 캐비티 격리 및 개폐 제어를 담당하는 특수 부품이다. 이송 캐비티와 공정 캐비티 사이의 직사각형 이송 슬릿 개구부에 맞춰 설계되었다고 하여 이름이 붙은 것으로, 게이트 구동형 격리 밸브의 범주에 속한다. 콤팩트한 구조와 신뢰성 높은 밀봉 성능을 바탕으로 고급 제조 및 과학 연구 분야 진공 시스템의 핵심 부품으로 자리 잡고 있다. 슬릿 밸브 도어의 핵심 설계는 진공 환경의 밀봉 및 격리 요구사항을 중심으로 개발되었으며, 개폐 응답성과 청정도 제어를 동시에 고려하여 다양한 가혹한 작업 조건에 적합하다.
작동 원리 측면에서 슬릿 밸브 도어는 게이트 플레이트의 직선 운동을 통해 유로의 개폐를 구현하며, 캐비티 간에 격리 장벽을 형성한다. 폐쇄 상태에서는 게이트 플레이트가 밸브 시트에 밀착되고, 구조적 압력과 밀봉 부품의 특성으로 가스 유동을 차단하여 캐비티 내부의 진공 상태를 유지한다. 개방 상태에서는 게이트 플레이트가 밸브 캐비티 상단까지 수직 승강하며 유로를 완전히 개방하여, 웨이퍼, 기판 등 작업물의 이송 또는 가스 순환을 위한 통로를 제공한다. 공압, 전기 등 다양한 구동 방식을 지원하며 시스템의 자동화 요구사항에 따라 선택할 수 있으며, 일부 모델은 고속 개폐 동작을 구현하여 고주파 작업 조건의 운전 리듬에 대응할 수 있다.
슬릿 밸브 도어의 구조 설계는 뚜렷한 목적성을 갖는다. 밸브 본체는 대부분 스테인리스 스틸 등 내식성 소재로 제작되어 공정 매질과 환경의 침식을 견딜 수 있으며 수명을 연장한다. 밀봉 구조는 최적화되어 특수 밀봉 부품과 매칭되어 저누설 성능을 구현하며, 고진공 및 초고진공 환경의 기밀성 요구사항을 충족할 수 있다. 청정도 요구사항을 만족시키기 위해 제품은 저입자 발생 설계를 채택하여 게이트 플레이트의 운동 및 마찰로 발생하는 불순물을 줄이고, 진공 환경 오염을 방지한다. 동시에 전체 구조가 콤팩트하여 설치 깊이가 슬릿 개구부의 공간 제약에 적합하며, 이송 캐비티와 공정 캐비티의 인터페이스 위치에 무간섭으로 통합될 수 있어 설치 편의성과 시스템 호환성을 동시에 고려한다.
핵심 특징은 작업 조건 적응성에서도 나타난다. 일부 모델은 고온 진공 베이킹 작업 조건을 지원하며 일정 범위의 온도 변화를 견딜 수 있고 밀봉 성능에 영향을 미치지 않으며, 전금속 밀봉 모델은 더욱 가혹한 사용 환경에 적응하여 고압 및 온도 변동으로 인한 도전 과제에 대처할 수 있다. 또한 밸브는 운전 중 높은 안정성을 보이며 반복적인 개폐 후에도 밀봉 효과와 원활한 운동성을 유지하여 유지보수 빈도를 줄인다.